福州梅陽オプトエレクトロニクス：ハイエンド機器が光学部品の精密製造における新たなベンチマークを確立
February 28, 2025
福州梅陽オプトエレクトロニクス：ハイエンド機器が光学部品の精密製造における新たなベンチマークを確立
精密光学部品の加工精度と品質安定性は、オプトエレクトロニクス産業のハイエンド発展の中核を成す基盤です。福州梅陽光電子は長年にわたり光学部品分野に深く関与し、技術力の向上を中核的な原動力としています。同社は世界トップクラスの設備2台、IBFイオンビーム研磨装置ÅFiSy IFS300Aと複屈折応力計Exicor 150ATを誇りを持って導入しました。これらの装置は卓越した性能と精密な適応性を備え、中高級光学部品製造において超精密加工から品質検査までを網羅するエンドツーエンドのソリューションを提供し、光学製造分野における同社の専門的実力と技術の先見性を実証しています。
ÅFiSy IFS300A：光学部品の超精密加工における国内ベンチマーク
中国で最も売れているハイエンドイオンビーム研磨装置であるÅFiSy IFS300Aは、輸入代替と国内自主管理を実現し、累計販売台数は40台を超えています。Fuging Technology、Huawei、Changguang Satelliteといった大手企業から繰り返し採用され、高い評価を得ており、光学部品の超精密加工における最適な装置となっています。真空環境下でのイオンビームスパッタリング原理に基づき、原子レベルの材料除去による表面形状加工を実現し、技術の先進性とアプリケーションの信頼性を核心的な優位性として際立たせています。
コア構成としては、ドイツから輸入したオリジナルのIOT高周波イオン源を搭載し、特許取得済みのFradayカップ+座標測定プローブシステムを組み合わせ、5μm以上の繰り返しクランプおよび位置決め精度を実現し、光学部品の加工基準を正確に捉えます。3層グラファイトグリッド構造とカスタマイズ可能な絞り設計を採用し、ビームスポットサイズを柔軟に調整して、さまざまな仕様の光学部品の加工ニーズに対応します。性能面では、加工精度はPV≤15nm、rms≤0.5nmに達し、複合プロセス最適化後の表面粗さはRa≤0.3nmまで低減でき、除去機能の安定性は95%を超えます。8時間連続加工時のピーク効率の最大誤差はわずか2.76%で、量産の一貫性と信頼性を確保しています。
アプリケーション適応性においては、石英、サファイア、炭化ケイ素、CaF₂などの各種光学材料の加工に対応し、平面、球面、非球面、オフアクシス非球面、自由曲面など、複雑な構造の光学部品にも高精度に適応します。非接触加工のため、エッジ効果や表面下損傷を回避できます。独自開発のプロセス制御・計算ソフトウェアを搭載し、Zygo干渉計などの主流検査装置のデータインターフェースと互換性があります。複数回の反復加工により、光学部品の表面形状誤差を大幅に最適化し、光透過率と結像品質を大幅に向上させます。これにより、ハイエンドレンズ、光学窓、リソグラフィー対物レンズなどのコア光学部品の研究開発と生産に重要なサポートを提供します。
Exicor 150AT: 光学部品の応力検出のための高精度ガーディアン
残留応力は、光学部品の光学性能、機械的安定性、および耐用年数に影響を与える重要な要因です。高精度な検出能力を備えたExicor 150ATは、光学部品の品質管理の中核装置となっています。直交偏光検出原理に基づき、高度な光学イメージング技術と信号処理技術を統合することで、光学部品の複屈折分布と残留応力を正確に捉えます。
性能パラメータの面では、装置の複屈折測定精度は±0.1nmに達し、応力測定範囲は0～500MPaをカバーし、光学ガラス、光学結晶、ポリマー光学材料などの基板および完成品の微小応力変化を正確に特定できます。高解像度1920×1080ピクセルのCCDカメラと専門的な分析ソフトウェアを搭載し、応力分布を視覚的に提示し、プロセス最適化のための直感的なデータサポートを提供します。応用シナリオでは、この装置は光学部品の原材料の受入検査、工程内品質監視、完成品の性能評価を完全にカバーします。さまざまな仕様と形状の光学部品の検出をサポートし、レンズ、プリズム、光学窓など、さまざまな製品の試験ニーズに適応するための調整可能なサンプルステージを備えており、すべての光学部品がハイエンドアプリケーションの厳しい基準を満たすことを保証します。
これら2つのハイエンド設備の導入により、福州美陽光電子は光学部品製造分野におけるコア設備システムの向上だけでなく、超精密加工から精密検査に至るまで、総合的な能力向上を実現しました。福州美陽光電子は今後も、最高クラスの設備と専門技術チームを基盤に、お客様にカスタマイズされた光学部品製造ソリューションを提供していきます。高精度で信頼性の高い製品とサービスの提供を通じて、オプトエレクトロニクス産業のハイエンド発展を牽引し、中国の精密光学製造産業の新たな高みへの到達に貢献していきます。
