193nmエアスペースゼロオーダー波長板は、接着層がなく、強力な構造安定性と耐老化性を備えています。石英は深紫外線腐食に耐性があり、高出力レーザーの連続運転に適しており、安定した偏光制御が可能です。
特徴: エアスペース 厚さ0.3~1.5mm 高ダメージ閾値 ARコーティングおよびマウント | ![]() |
商品番号 :
WPA-193nm製品の原産地 :
FuZhou仕様:
材料: | 石英 |
直径許容差: | +0.0、-0.1mm |
波面歪み: | λ/8 @ 632.8nm |
遅延許容範囲: | λ/50 |
並列処理: | <1秒角 |
表面品質: | 20/10 |
クリアーアパーチャー: | 80%以上 |
コーティング: | S1&S2: R<0.2% @ 波長 |
標準波長: | 193nm |
標準製品:
半波長板 P/N# | 1/4波長板 P/N# | 直径(mm) |
WPA-210-193 | WPA-410-193 | 10.0 |
WPA-212-193 | WPA-412-193 | 12.7 |
WPA-215-193 | WPA-415-193 | 15.0 |
WPA-220-193 | WPA-420-193 | 20.0 |
WPA-225-193 | WPA-425-193 | 25.4 |
WPA-230-193 | WPA-430-193 | 30.0 |
WPA-235-193 | WPA-435-193 | 35.0 |
WPA-250-193 | WPA-450-193 | 50.0 |
193nmエアスペースゼロオーダー波長板の技術的利点:
193nmエアギャップ波長板は、デュアルクォーツエアスペース構造を採用し、材料の吸収損失を大幅に低減し、ArFエキシマレーザーなどの深紫外線帯域において優れた透過率を実現します。エアギャップ設計により接合時の熱応力を回避し、高出力レーザーの長期動作にも耐えます。イオンビーム仕上げを組み合わせることで、ナノスケールの表面平坦性を実現し、散乱損失を大幅に低減するとともに波面品質を最適化し、リソグラフィーにおける高精度偏光制御に適しています。