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193nm エアスペースゼロオーダー波長板

193nmレーザー用VUVカスタマイズ偏光板

193nm エアスペースゼロオーダー波長板

深紫外線波長板
193nm エアスペースゼロオーダー波長板

193nmエアスペースゼロオーダー波長板は、接着層がなく、強力な構造安定性と耐老化性を備えています。石英は深紫外線腐食に耐性があり、高出力レーザーの連続運転に適しており、安定した偏光制御が可能です。

特徴:

エアスペース

厚さ0.3~1.5mm

高ダメージ閾値

ARコーティングおよびマウント

  • 商品番号 :

    WPA-193nm
  • 製品の原産地 :

    FuZhou
新製品

仕様:

材料:
石英
直径許容差:
+0.0、-0.1mm
波面歪み:
λ/8 @ 632.8nm
遅延許容範囲:
λ/50
並列処理:
<1秒角
表面品質:
20/10
クリアーアパーチャー:
80%以上
コーティング:
S1&S2: R<0.2% @ 波長
標準波長:
193nm

標準製品:

半波長板 P/N#
1/4波長板 P/N#
直径(mm)
WPA-210-193
WPA-410-193
10.0
WPA-212-193
WPA-412-193
12.7
WPA-215-193
WPA-415-193
15.0
WPA-220-193
WPA-420-193
20.0
WPA-225-193
WPA-425-193
25.4
WPA-230-193
WPA-430-193
30.0
WPA-235-193
WPA-435-193
35.0
WPA-250-193
WPA-450-193
50.0

193nmエアスペースゼロオーダー波長板の技術的利点:

193nmエアギャップ波長板は、デュアルクォーツエアスペース構造を採用し、材料の吸収損失を大幅に低減し、ArFエキシマレーザーなどの深紫外線帯域において優れた透過率を実現します。エアギャップ設計により接合時の熱応力を回避し、高出力レーザーの長期動作にも耐えます。イオンビーム仕上げを組み合わせることで、ナノスケールの表面平坦性を実現し、散乱損失を大幅に低減するとともに波面品質を最適化し、リソグラフィーにおける高精度偏光制御に適しています。

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