193nm グランテイラー偏光子 エアギャップで分離されたα-BBO複屈折結晶を用いることで、深紫外線領域における接着材料による吸収の問題を排除します。単層MgF₂反射防止コーティングは、優れた消光性能を維持しながら、193nmにおける高い透過率を実現します。高いレーザー損傷閾値を備えており、ArFエキシマレーザーリソグラフィーや深紫外線レーザー加工などの用途における高精度な偏光制御に最適です。
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特徴: エアスペース ブリュースター角カットに近い 高い偏光純度 深紫外線透過率 |
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商品番号 :
GTP-193製品の原産地 :
FuZhou仕様:
| 材料: | 深紫外線材料 |
| 波長範囲: | 193.368nm |
| 消光比: | <1x10-4 |
| 並列処理: | <1弧分 |
| 表面品質: | 20/10 |
| ビーム偏向: | < 3分角 |
| 波形歪み: | 1/4@632.8nm |
| ダメージ閾値: | >200 MW/cm2 |
193nm グランテイラー偏光子
| 部品番号 | 波長範囲(nm) | 消光比 | 角度視野(°) | CA fa(mm) | 外径 fd(mm) | 長さ±0.1(mm) |
| GTP4006 | 193.368 | <5x10-6 | >6.0 | 5.0 | 25.4 | 13.0 |
| GTP4008 | 6.5 | 25.4 | 14.0 | |||
| GTP4010 | 8.0 | 25.4 | 16.0 | |||
| GTP4013 | 10.0 | 25.4 | 20.0 | |||
| GTP4015 | 12.0 | 30.0 | 23.0 | |||
| GTP4020 | 18.0 | 38.1 | 28.0 | |||
| GTP4025 | 22.0 | 50.8 | 33.0 |
技術的な利点 193nm グランテイラー偏光子:
193nmグラン・テイラー偏光子は、深紫外線対応材料を採用しており、193nmにおける超低吸収と優れた透過率により、偏光方向を正確に維持します。エアギャップ設計により、深紫外線における接着剤による吸収干渉を回避し、専用の反射防止コーティングと組み合わせることで反射損失を低減し、高出力深紫外線レーザーの使用シナリオに適しています。