193nmグランレーザープリズム 高い光学均一性を備えたEUV結晶を使用し、狭帯域における優れた偏光安定性を特徴としています。精密パッケージングにより光路偏差を低減し、高精度な深紫外線レーザー検出に適しています。
特徴: エアスペース ブリュースター角カットに近い 高い偏光純度 脱出窓付き 高出力アプリケーションに適しています |
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商品番号 :
GLP-193製品の原産地 :
FuZhou仕様:
| 材料: | EUVクリスタル |
| 波長範囲: | 193.368nm |
| 消光比: | <1x10-4 |
| 並列処理: | <1弧分 |
| 表面品質: | 20/10 |
| ビーム偏向: | < 3分角 |
| 波形歪み: | λ/4@632.8nm |
| ダメージ閾値: | >500 MW/cm2 |
193nmグランレーザー偏光子
| 部品番号 | 波長範囲(nm) | 消光比 | 角度視野(°) | CA fa(mm) | 外径 fd(mm) | 長さ±0.1(mm) |
| GLP4006 | 193.368 | <5x10-6 | >6.0 | 6.0 | 15.0 | 29.0 |
| GLP4008 | 8.0 | 25.4 | 31.0 | |||
| GLP4010 | 10.0 | 25.4 | 31.0 | |||
| GLP4015 | 15.0 | 30.0 | 38.6 | |||
| GLP4020 | 20.0 | 38.0 | 48.9 |
技術的な利点 193nmグランレーザー偏光子:
193nmグランレーザー偏光子の技術的利点は、高い偏光純度により、広角入射下でも安定した性能を維持することです。優れた熱安定性を備え、広い温度範囲で光学的変動を最小限に抑えます。強力なレーザー損傷耐性により、高出力深紫外線(DUV)用途にも適しています。DUV光学系との互換性があり、設置も容易なため、リソグラフィーやレーザー検出といった高精度のニーズに的確に対応します。