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193nmグランレーザー偏光子

193nmレーザー用VUVカスタマイズ偏光板

193nmグランレーザー偏光子

紫外線高偏光
193nmグランレーザー偏光子

193nmグランレーザープリズム 高い光学均一性を備えたEUV結晶を使用し、狭帯域における優れた偏光安定性を特徴としています。精密パッケージングにより光路偏差を低減し、高精度な深紫外線レーザー検出に適しています。

特徴:

エアスペース

ブリュースター角カットに近い

高い偏光純度

脱出窓付き

高出力アプリケーションに適しています


  • 商品番号 :

    GLP-193
  • 製品の原産地 :

    FuZhou
新製品

仕様:

材料:EUVクリスタル
波長範囲:193.368nm
消光比:<1x10-4
並列処理:<1弧分
表面品質:20/10
ビーム偏向:< 3分角
波形歪み:λ/4@632.8nm
ダメージ閾値:>500 MW/cm2

193nmグランレーザー偏光子

部品番号波長範囲(nm)消光比角度視野(°)CA fa(mm)外径 fd(mm)長さ±0.1(mm)
GLP4006193.368<5x10-6>6.06.015.029.0
GLP40088.025.431.0
GLP401010.025.431.0
GLP401515.030.038.6
GLP402020.038.048.9

技術的な利点 193nmグランレーザー偏光子

193nmグランレーザー偏光子の技術的利点は、高い偏光純度により、広角入射下でも安定した性能を維持することです。優れた熱安定性を備え、広い温度範囲で光学的変動を最小限に抑えます。強力なレーザー損傷耐性により、高出力深紫外線(DUV)用途にも適しています。DUV光学系との互換性があり、設置も容易なため、リソグラフィーやレーザー検出といった高精度のニーズに的確に対応します。

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